[À¯ÇÇÄɹÌÄ®] ¸éÁ¢Á¤º¸ & ȸ»ç Á¤º¸ ÀÔ´Ï´Ù.
¾È³çÇϼ¼¿ä. ½ºÄ«¿ìÆ® BBS ¿î¿µÀÚ ÀÔ´Ï´Ù.
1994³â 1¿ù ⸳ÇÑ À¯ÇÇÄɹÌÄ®Àº
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë ¹Ú¸· ÁõÂø ÈÇÕ¹°·Î »ç¿ëÇÏ´Â ALD/CVD Precursor °³¹ßÀ» ÇÏ´Â ±â¾÷À¸·Î,
21¼¼±â ¹ÝµµÃ¼¿¡ Àû¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Â ¹è¼±Àç·á, À¯ÀüüÀç·á, È®»ê¹æÁö¸·, ¹× Á¢Âø¸·ÁõÂø¿ë
PrecursorµîÀ» °³¹ßÇÏ¿© ƯÇ㸦 ȹµæ ÇÏ¿´À¸¸ç, ±¹»êÈ¿¡ ¼º°øÇÑ ±â¾÷À̶ó°í ÇÕ´Ï´Ù.
2003³â 3/4»çºÐ±â ÇöÀç ¸ÅÃâ¾×Àº 40¾ï¿øÀÌ°í,
ÀÚ»êÀº 55¾ï¿ø(°íÁ¤ÀÚ»ê 30¾ï¿ø, À¯µ¿ÀÚ»ê 25¾ï), 2003³â ÇöÀç 25¸í ÀÔ´Ï´Ù.
º¹¸®ÈÄ»ýÀº
Åä¿äÀÏ °ÝÁÖÈÞ¹«, ¿¬Â÷(¿ùÂ÷´Â ¾ø½À´Ï´Ù), ÅðÁ÷±Ý, °æÁ¶±Ý, Á¡½É/Àú³á ½Ä´ë Áö¿ø µîÀÌ ÀÖ°í
»ç³» ±â¼÷»ç°¡ ÀÖÀ¸³ª ÇöÀç Æ÷È »óŶó ÀÔ¼Ò°¡ ºÒ°¡´ÉÇÑ »óŶó°í ÇÕ´Ï´Ù.
Åë±Ù¹ö½º´Â °ø´ÜÀÔ±¸¿¡¼ ȸ»ç±îÁö¸¸ ¿îÇàÀ» ÇÏ°í ÀÖ´Ù°í Çϳ׿ä.
¸éÁ¢Àº 1Â÷ »çÀå, »ó¹« ¸éÁ¢À¸·Î ÀÚ¿¬½º·¯¿î ºÐÀ§±â¿¡¼ ´ëÈÇü½ÄÀ¸·Î ÁøÇàÇÑ´Ù°í ÇÕ´Ï´Ù.
ºÐ¾ßº°·Î ³ª´©¾î µé¾î°¡Áö ¾Ê°í ÀüºÐ¾ß Áö¿øÀÚµéÀÌ ¼¯¾î¼ ¸éÁ¢À» º¸°Ô µÇ´Âµ¥
´ë·« 10¸í °¡·®ÀÌ ÇÑÁ¶°¡ µÇ¾î¼ ¸éÁ¢À» º¸°í ¸éÁ¢½Ã°£Àº 30~40ºÐ °¡·® ¼Ò¿äµÈ´Ù°í
Çϳ׿ä.
¸éÁ¢ ½Ã Àü¹®ÀûÀÎ ÈÇÐ, ¹ÝµµÃ¼¿¡ °üÇÑ Áú¹®Àº °ÅÀÇ ÇÏÁö ¾Ê°í
°³º°ÀûÀÎ ¼ºÇâ°ú ¼º°Ý, ÇÏ°íÀÚ ÇÏ´Â ¸¶À½°¡Áü µîÀ» ÁßÁ¡ÀûÀ¸·Î º»´Ù°í ÇÕ´Ï´Ù.
¸éÁ¢ ½Ã Å×½ºÆ®³ª ³ÇØÇÑ Áú¹®Àº ÇÏÁö ¾Ê°í Æí¾ÈÇÑ »óÅ¿¡¼ ÁøÇàÇÑ´Ù°í ÇÏ´Ï
³Ê¹« ±äÀåÇÏÁö ¸¶½Ã°í,
2Â÷ ¸éÁ¢Àº ½ÅÀÔÀÇ °æ¿ì´Â ½Ç½ÃÇÏÁö ¾ÊÀ¸¸ç, °æ·ÂÁ÷ÀÇ °æ¿ì ¸éÁ¢ÀÏ »óȲ¿¡ µû¶ó
ÁøÇà ¿©ºÎ¸¦ °áÁ¤ÇÑ´Ù°í Çϸç,
2Â÷ ¸éÁ¢À» º¸°Ô µÈ´Ù¸é ±× µ¿¾ÈÀÇ °æ·Â»çÇ׿¡ °üÇØ ÁßÁ¡ÀûÀ¸·Î º»´Ù°í ÇÕ´Ï´Ù.
°æ·ÂÁ÷ Áö¿ø À̽öó¸é ±× µ¿¾ÈÀÇ °æ·Â»çÇ×°ú Áö¿øÇϽŠºÐ¾ß¿¡ °üÇÑ °ü·Ã¼º µîÀ»
ÁغñÇØ °¡½Ã¸é ÁÁÀ» °Í °°³×¿ä.
¼·ù»óÀÇ Áغñ»çÇ×Àº ¸éÁ¢ ÇØ´çÀÚ¿¡°Ô À̸ÞÀÏ·Î ¾È³»¸¦ ÇØÁØ
À̷¼(»çÁøºÎÂø), ÀÚ±â¼Ò°³¼, ¼ºÀûÁõ¸í¼, Á¹¾÷Áõ¸í¼ µîÀ» ÁغñÇØ °¡½Ã¸é µÈ´Ù°í ÇÏ´Ï
ÁغñÇØ °¡½Ã´Â °Í ÀØÁö ¸¶½Ã±â ¹Ù¶ø´Ï´Ù.
±×·³ ¸éÁ¢ Àß º¸½Ã±¸¿ä,
ÁÁÀº ¼Ò½Ä ÀÖ±æ ¹Ù¶ø´Ï´Ù. ^^
 |
|
|
|