¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤Àåºñ¿¡¼ »ç¿ëµÇ¾îÁö´Â RF Generator ¹× Impedance matching networkµîÀ» ±¹³» Á¦ÀÛ ¹× ¼ºñ½ºÇϴ ȸ»çÀÔ´Ï´Ù.
±â¼úÁ÷À» Áö¿øÇϽŴٸé ÀüÀÚ°øÇÐ°è¿ ÀÌ ¾Æ´Ï¸é Á» Èûµé°Ì´Ï´Ù.
Àåºñ Ư¼º»ó ¾Æ³¯·Î±×, µðÁöÅ», ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ ¹× Àü·ÂÀüÀÚ°øÇеîÀÇ ÀÌÇØ°¡ ÇÊ¿äÇÕ´Ï´Ù.
ȸ»çÀÇ ±âŸ »çÁ¤Àº Àß ¸ð¸£°Ú³×¿ä. À̺о߿¡ °ü½ÉÀÌ ÀÖÀ¸½Ã¸é Áö¿øÇϼż ÁÁÀº °á°ú¸¦ ±â¿øÇÕ´Ï´Ù.